一種等離子體電極用碳化鉿粉末、其制造方法、碳化鉿燒結體和等離子體電極的發明專利
一種等離子體電極用碳化鉿粉末、其制造方法、碳化鉿燒結體和等離子體電極的發明專利
摘要：等離子體電極用碳化鉿粉末由化學式HfCx(其中x=0.5～1.0)表示。在碳化鉿粉末中作為雜質包含的碳顆粒的含量為0.03質量%以下。碳化鉿粉末的平均粒徑優選為0.5～2μm。在制造碳化鉿粉末時，首先將由氧化鉿與碳的混合粉構成的粒料收納在碳化硅制的第2坩堝內。之后，在將第2坩堝配置在碳制的第1坩堝內的狀態下在1800～2000℃進行加熱，由此生成碳化鉿粉末。
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